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芯片互聯三維激光直寫設備的關鍵部件維護

更新時間:2025-09-28點擊次數:106
芯片互聯三維激光直寫設備通過多光子聚合(Multi-Photon Polymerization, MPP)技術,實現亞微米級自由曲面結構的真三維加工,為硅光 芯片、鈮酸鋰光子回路及量子光學器件的混合集成提供重要性制造平臺。
主要特點:
超高速加工模塊,極大提高加工效率
高精度3D加工,復雜結構任意自由曲面設計加工
共聚焦與熒光探測系統,實現高精度位置識別和對準
納米精度的自動三維對準定位系統
實時高清顯微成像與測量,加工與檢測全局坐標系
激光能量穩定系統,保證長時間加工一致性
真空吸附樣品臺,適配各種基底材料
光纖、光纖陣列和光子芯片的專用夾具
自動激光功率補償,消除端面加工缺陷影響
自動基板傾斜探測與整平
可視化編程,自定義加工流程
關鍵部件維護周期:
飛秒激光器:輸出功率穩定性檢測,每月,功率計校準‌;
振鏡系統:掃描范圍與二次校準,每半年,140×140μm²標定‌;
溫控系統:傳感器黑體輻射源校準,每季度,±0.1℃精度‌;
制冷模塊:制冷劑壓力與管路密封性檢查,每周(液氮),壓力表讀數‌。
日常維護流程‌:
‌光學系統清潔‌:
使用無塵布蘸取無水乙醇擦拭保護鏡、振鏡及激光窗口,避免劃傷鍍膜層‌。
更換保護鏡時需密封噴嘴,防止灰塵進入光路系統‌。
‌運動平臺校準‌:
每季度檢查三維壓電陶瓷臺的重復定位精度(±10nm),通過標準校準片驗證‌。
導軌潤滑需使用專用納米級潤滑油,避免顆粒物影響運動精度‌。
 
 
 
 
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